XYZ200M

La platine piézoélectrique XYZ200M est basée sur les actionneurs APA 200M et possède une haute rigidité. Parmi les applications on peut citer le positionnement de masque, la microscopie confocale et à balayage.

Déplacement max sans charge

200 µm

Fréquence résonance charge

380 Hz

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