XYZ200M
La platine piézoélectrique XYZ200M est basée sur les actionneurs APA 200M et possède une haute rigidité. Parmi les applications on peut citer le positionnement de masque, la microscopie confocale et à balayage.
| Déplacement max sans charge | 200 µm |
|---|---|
| Fréquence résonance sans charge | 380 Hz |
| Temps de réponse | |
| Dimensions | |
| Options disponibles | |
| Statut |
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