FSPA35XS

L’actionneur piézo à pas fin (FSPA35XS) est un actionneur breveté qui combine la technologie SPA et la réduction mécanique. Des tailles de pas inférieures à 100 nm sont réalisables en déplacement fin. La vitesse maximale typique pour ce FSPA est de 200 um/s.

Force d'actionnement

Plage de déplacement

Durée de vie typique

Options disponibles

Statut

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Technical datasheet
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Innovation