Actionneurs piezo linéaires nanométriques avec jauges de contrainte intégrées pour un positionnement de haute stabilité

De nombreuses applications nécessitent un mécanisme capable de régler la position avec une résolution nanométrique et de maintenir parfaitement cette position pendant une longue période (plus de plusieurs jours). Pour ces applications, les actionneurs piezo conviennent parfaitement puisqu’ils offrent facilement une résolution nanométrique. Cependant, ils nécessitent l’utilisation d’un capteur de position pour pouvoir maintenir une position stable dans le temps. Jusqu’à présent, la stabilité à long terme des jauges de contrainte (SG) pour la mesure de la position était douteuse. Grâce à son vaste savoir-faire en matière d’intégration des jauges de contrainte et à un nouvel équipement d’instrumentation, Cedrat Technologies a réussi à démontrer la capacité d’un mécanisme piézoélectrique intégrant des capteurs à jauges de contrainte à atteindre une stabilité de position nanométrique. Cette technologie ouvre de nouvelles perspectives pour les applications industrielles, aéronautiques et spatiales.