XY200M

La platine piézoélectrique XY200M est basée sur les actionneurs APA200M et jouit d’une grande rigidité. Parmi ses applications on peut citer le positionnement de masque, les microscopes à balayage, à force atomique et les pinces optiques.

Déplacement max sans charge

200 µm

Fréquence résonance sans charge

580 Hz

Temps de réponse

Dimensions

Options disponibles

Statut

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Technical datasheet
Cedrat technologies

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Innovation